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面向全国产化应用需求的高端压力传感器

2021-7-16 17:43
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该项目涉及的两型产品是国家军民融合与自主可控发展战略背景下的重要产品,在军工及核心工业领域均有较为迫切的需求。


  项目名称:面向全国产化应用需求的高端压力传感器

  所属单位:
  航空工业西安飞行自动控制研究所
  西安思微传感科技有限公司

  该项目依托西安思微传感科技有限公司开展。思微科技旨在打造一家完全自主可控的中高端压力芯片及传感器级产品供应商。

  高精度硅谐振压力传感器实现全温区(-55℃~85℃)满量程(262kPa)综合精度0.02%FS的产品研制,处于国内领先、国际先进的水平,能够原位替代美国GE Druck及法国Thales产品,用于机载大气数据系统及备份仪表系统,具备全面国产化的能力。高温硅压阻压力传感器实现耐温200℃,综合精度0.1%FS的产品研制,能够逐步替代美国Kulite、瑞士Keller的产品,用于航空液压舵机、航空救生装备、压力控制开关等领域,并有望向石油化工、轨道交通等多个领域拓展。

  高精度硅谐振压力传感器采用“膜-硅岛”耦合放大模型及面内振动的对称结构,具有共模误差抑制能力强、品质因子高、灵敏度大等优势;高温硅压阻压力传感器采用SOI工艺及多材料复合电极制备技术,具有耐受温度高、稳定性好等优势。高精度硅谐振压力传感器实现了从无到有的突破,有效填补了国内空白,是全球范围内第三款具备应用能力的产品;高温硅压阻压力传感器建立了从芯片设计、制作到传感器级封测的全流程能力,能够支撑系统级产品的国产化研制。

  该项目涉及的两型产品是国家军民融合与自主可控发展战略背景下的重要产品,在军工及核心工业领域均有较为迫切的需求。

  高精度硅谐振压力传感器是机载及弹载大气数据系统、备份仪表系统的核心传感器,并可用于气象、压力标准器等领域;高温硅压阻压力传感器是航空液压系统、救生系统、发动机系统等的核心传感器,并可用于电力、轨道交通、石油化工等领域。粗略估算,高端压力传感器的国内市场近60亿左右,目前几乎被美国GE Druck、法国Thales、美国Kulite等企业垄断。全国产化产品一旦研制成功,能够带来巨大的经济效益,且有助于推动国内摆脱受制于人的局面,实现真正的自主可控。

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